Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
Sputtern — Das Sputtern (aus dem Englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend… … Deutsch Wikipedia
Sputtern — Kathodenzerstäubung * * * sput|tern 〈[spʌ̣t ] V. tr.; hat; Tech.〉 Oberflächenmaterial eines Festkörpers durch Ionenbestrahlung zerstäuben, abspalten [zu engl. sputter; eigtl. „zischen, brutzeln“] * * * Sputtern [ spʌtərn; englisch, eigentlich… … Universal-Lexikon
sputtern — sput|tern 〈[spʌ̣t ] V.; Technik〉 Oberflächenmaterial eines Festkörpers durch Ionenbestrahlung zerstäuben, abspalten [Etym.: <engl. sputter, eigtl. »zischen, brutzeln«] … Lexikalische Deutsches Wörterbuch
physikalisches Sputtern — fizikinis dulkinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. physical sputtering vok. physikalisches Sputtern, n rus. физическое распыление, n pranc. pulvérisation physique, f … Radioelektronikos terminų žodynas
reaktives Sputtern — reaktyvusis joninis dulkinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive ion sputtering vok. reaktives Sputtern, n rus. реактивное ионное распыление, n pranc. pulvérisation ionique réactive, f … Radioelektronikos terminų žodynas
Kathodenzerstäubung — Sputtern * * * Ka|tho|den|zer|stäu|bung 〈f. 20〉 = Katodenzerstäubung * * * Kathodenzerstäubung, das Herausschlagen von Atomen aus der Metallkathode durch die aufprallenden Ionen einer Gasentladung. Da sich die herausgeschlagenen Atome auf nahen … Universal-Lexikon
Ionenstrahlsputtern — Das Sputtern (aus dem englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend Edelgasionen)… … Deutsch Wikipedia
Kathodenzerstäubung — Das Sputtern (aus dem englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend Edelgasionen)… … Deutsch Wikipedia
Magnetronsputtern — Das Sputtern (aus dem englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend Edelgasionen)… … Deutsch Wikipedia
Magnetronzerstäubung — Das Sputtern (aus dem englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend Edelgasionen)… … Deutsch Wikipedia
